KAIJO楷捷_兆聲波發(fā)生器_70110型
高周波超音波洗浄機(jī)
メガソニック洗浄(ハイメガソニック)
750kHz/950kHz
Si?ェ??、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄 水晶振動(dòng)子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄
◆半導(dǎo)體や液晶などに要求される45nm以下の超微粒子をハイメガが除去
■特徴
メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機(jī)です。
半導(dǎo)體ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
高周波(750kHz、950kHz)のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。
このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン(ダメージ)や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
■発振器特徴
●0.1Wパワー設(shè)定可能。高い電力安定性を?qū)g現(xiàn)。
ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!
(200kHz以上に対応)
●4種類の特殊発振モード選択により、従來以上の高精度に精密洗浄が可能
●立上げ時(shí)?立下げ時(shí)のスピードを設(shè)定可能
●QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり
発振器の入替で洗浄性能UPが可能。
●舊ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!
●サイズは19インチラックに収納できる 規(guī)格化されたサイズ
●振動(dòng)子交換時(shí)の調(diào)整は原則不要(マッチングレス)
●用力はフリー電源方式のため、工場(chǎng)の電源電圧変動(dòng)などに左右されません
●10種類の周波數(shù)に対応しているので、後から振動(dòng)子を交換することで、
周波數(shù)の変更が可能。
対応周波數(shù):26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/
160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
■発振器スペック
項(xiàng)目 |
仕様 |
|
定格出力 |
1200W ※ |
|
発振周波數(shù) |
26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz |
|
発振モード |
PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振 |
|
電源 |
電流 |
10A |
電圧 |
AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz) |
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外形寸法 |
430(W) ×418(D) ×148(H) |
|
重量 |
17Kg |
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主な機(jī)能 |
リモートモード |
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8段階出力 |
||
RS485通信 |
||
異常出力端子 |
||
アナログ出力(出力のモニタリング) |
仕様 |
ウェーハ6 |
ウェーハ8 |
ウェーハ12 |
型名 |
7857S型 |
8857S型 |
98SL型 |
許容入力 |
300Wx4 |
300Wx6 |
300Wx16 |
周波數(shù) |
950kHz |
950kHz |
750kHz |
振動(dòng)輻射面(mm) |
136x163 |
165x215 |
275x319 |
振動(dòng)板材質(zhì) |
SU316L |
SU316L |
SU316L |
振動(dòng)體 |
PZT |
PZT |
PZT |
*高使用溫度 |
70℃ |
70℃ |
70℃ |
外形寸法 |
185x215x55 |
255x305x55 |
410x340x65 |
取付方法 |
ボルト固定 |
ボルト固定 |
ボルト固定 |
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