液晶玻璃基板搬運(yùn)用機(jī)器人
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產(chǎn)品名稱(chēng):
液晶玻璃基板搬運(yùn)用機(jī)器人
產(chǎn)品型號(hào):
SR8653
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
NIDEC
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
NIDEC尼得科 液晶玻璃基板搬運(yùn)用機(jī)器人 SR8653
液晶玻璃基板搬運(yùn)用機(jī)器人
的詳細(xì)介紹
NIDEC尼得科 液晶玻璃基板搬運(yùn)用機(jī)器人 SR8653
特點(diǎn)：
?可以應(yīng)對(duì)從常溫到高溫的各種需求?驅(qū)動(dòng)部模塊化、易于維護(hù)?多達(dá)3段的Z軸使高度可動(dòng)范圍加大?控制器小型輕量?獨(dú)有的降溫系統(tǒng)、使其能應(yīng)對(duì)高溫環(huán)境?R部和本體的分割設(shè)計(jì)、使其易于保養(yǎng)也易于進(jìn)入腔體?使用了陶瓷手臂來(lái)應(yīng)對(duì)高溫環(huán)境?ARM驅(qū)動(dòng)部使用了高精度部件和電能回饋機(jī)構(gòu)?R軸采用了磁浮驅(qū)動(dòng)以保證高直進(jìn)性（ＳＲ8653系列）
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真空度
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1.33×10-2
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自由度
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5-AXIS(all AC-servo controlled)
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動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)
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3620
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動(dòng)作范圍「Z軸」(㎜)
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820
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動(dòng)作范圍「θ軸」(deg)
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+140～-185
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*大速度「RR/RL軸」(deg./sec)
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2700
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*大速度「Z 軸」(mm/sec)
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500
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*大速度「θ軸」(rads/sec)
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2.09
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*大速度「重復(fù)精度」(㎜)
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+/-0.25
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*大速度「噪音」(dB)
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85 or less
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*大速度「基板尺寸」(㎜)
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～2200×2500 t=0.5～0.7
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產(chǎn)品搬運(yùn)公司
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日本電產(chǎn)三協(xié)
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