ULVAC 多級羅茨干式真空泵 HR60
特點 在高溫區(qū)域實現熱平衡。 可將 CVD、蝕刻等產生的可升華廢氣物質以氣態(tài)形式排出。 UR 系列可達到比 HR 系列更高的溫度。 氦氣密封 采用帶罐裝電機的密封結構，**性極高。 防止瞬間斷電 提供 1000 毫秒內的瞬間斷電措施。 **的耐腐蝕性 主要部件均經過特殊表面處理，表面硬度高，具有出色的耐腐蝕性。 在排出腐蝕性氣體時，可減少泵內部的腐蝕。 通信功能 可讀取泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史數據。 可使用專用軟件通過計算機通信進行集中監(jiān)控。 應用 CVD 設備 蝕刻設備 灰化設備 ALD、ALH 等 規(guī)格
*對于 HR300、HR600 和 HR1200，請勿在入口壓力高于 200 Pa 的情況下連續(xù)運行。
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