ULVAC 多級羅茨型干泵 GR60A
特點 可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續(xù)使用。 適用load lock室（裝載/卸載室），可實現高吞吐量。 感應電機可通用 可以安裝防爆電機等特殊電機（可選） 采用多電壓兼容電機 用途 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣 各種成膜設備放入取出室的真空排氣 真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業(yè) 真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充 規(guī)格
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。 *2 不結露。 *3 通過調節(jié)器調節(jié)壓力計值。 *4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。
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