羅茨泵
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
羅茨泵
產(chǎn)品型號(hào):
PRC-003A
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 羅茨泵 PRC-003A
PRC系列是為對(duì)清潔度有特別要求的半導(dǎo)體、液晶制造工藝特別設(shè)計(jì)的羅茨泵。采用屏蔽式電機(jī)，不會(huì)從軸封部漏油?？蛇x擇大氣壓驅(qū)動(dòng)型。
羅茨泵
的詳細(xì)介紹
ULVAC 羅茨泵 PRC-003A
特點(diǎn)
無(wú)油
由于沒(méi)有潤(rùn)滑油，因此對(duì)于水蒸氣和溶劑等的蒸汽，也可以具有穩(wěn)定性。
采用密封電機(jī)
通過(guò)采用密封電機(jī)，可以不需要大氣/真空機(jī)械密封。 可以在沒(méi)有漏油的清潔環(huán)境中使用。
表面處理，具有優(yōu)異的耐腐蝕性
主要部件采用陽(yáng)極氧化鋁處理，具有高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，并可防止泵內(nèi)部的劃傷和腐蝕。 還提供可選的表面處理。
大氣壓驅(qū)動(dòng)型（選件：變頻器）有效減少排氣時(shí)間
可以與粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)，與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可以減少排氣時(shí)間。
用途
蒸著、濺射、離子電鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析設(shè)備、檢漏設(shè)備
氣體置換、充填、真空隔斷
熱處理爐、溶解爐
其他各種真空設(shè)備
規(guī)格