油擴散泵

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產(chǎn)品名稱: 油擴散泵

產(chǎn)品型號: PFL-36

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: ULVAC

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

油擴散泵 的詳細介紹

ULVAC 油擴散泵 PFL-36

特點
與其他相同口徑的泵相比，具有更高的抽速。
幾乎沒有油蒸汽回流
高效且經(jīng)濟，需要動力少，油也很少。
加熱器的更換和修理非常容易。
焊接技術(shù)非常好，使用氦氣檢漏儀進行過完整的泄漏測試，因此具有非常高的機械性和真空性。
規(guī)格

型號		PFL-22	PFL-22TM	PFL-36	PFL-52
排氣速度		10,000 L/sec	10,000 L/sec	34,000 L/sec	70,000 L/sec
極限壓力 *1		3.0×10^-4 Pa
臨界背壓		16 Pa		6.7 Pa	16 Pa
工作開始時間		40 min		60 min	60 min
液壓油		ULVOIL D-11
油量		5 L		13 L	27 L
水溫		19～25℃
冷卻水進水口 (尺寸)		Rc 1/2×2	Rc 1/2×2	Rc 1/2×2	Rc 1/2×4
					Rc 3/8×2
冷卻水量		12 L/min	15 L/min	38 L/min	50 L/min
電壓規(guī)格		200V / 3φ
電力需求		8 kW	10 kW	開始操作時 22 kW	開始操作時 45 kW
				穩(wěn)定時 11 kW	穩(wěn)定時 30 kW
加熱器種類		盤繞加熱器	盤繞加熱器	盤繞加熱器	盤繞加熱器
推薦輔助泵 *2		PMB-040C＋PKS-070		PMB-040C＋PKS-070	PMB-060C＋PKS-070 x 2個
		(PMB1200D＋PKS-030)		(PMB1200D＋PKS-070)	PMB2400D＋PKS-070
				(PMB2400D＋PKS-070)
外形尺寸 *3	A	480 mm	480 mm	725 mm	1,000 mm
	B	630 mm	630 mm	1,022 mm	2,000 mm
	H	1,330 mm	1,330 mm	1,732 mm	2,845 mm
吸氣口		VG550	VG550	VG900	52英寸VG相當
排氣口		VG150	VG200	VG250	VG350
重量		290 Kg		650 Kg	1,400 Kg
油位計		視口 View port		視口 View port	視口 View port
溫控器選項		有		有	有
恒溫器設(shè)定溫度		180		110	110

水冷擋板 (用于PFL)

型號		BW-22	BW-36	BW-52
電導		14,000 L/sec	54,000 L/sec	75,000 L/sec
外形尺寸 *3	D	φ680 mm	φ1,065 mm	φ1,480 mm
	T	101 mm	113 mm	165 mm
	t	26 mm	28 mm	35 mm
冷卻水進水口(尺寸)		Rc 3/8	Rc 3/8	Rc 1/2
水容量		3 L/min	5 L/min	5 L/min
重量		28 kg	66 kg	200 kg

*1 當冷卻水量為20℃時，極限壓力基于電離真空計。
*2 這里是根據(jù)擴散泵*大流量來選擇輔助泵的。
*3 通常情況下，考慮到粗抽時間，使用比這里所示的更大的機械增壓泵和油回轉(zhuǎn)真空泵也是合適的。

排氣速度曲線

PFL-22

PFL-36 , PFL-52

尺寸圖

	PFL-22 , PFL-22TM	PFL-36	PFL52
A	480 mm	725 mm	1000 mm
B	630 mm	1022 mm	2000 mm
H	1330 mm	1732 mm	2845 mm

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油擴散泵

ULVAC 油擴散泵 PFL-36

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排氣速度曲線

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