工藝監(jiān)控儀
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產(chǎn)品名稱:
工藝監(jiān)控儀
產(chǎn)品型號(hào):
RGM2-302
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 工藝監(jiān)控儀 RGM2-302
反應(yīng)性氣體分析儀Qulee RGM-302是Qulee系列中對(duì)應(yīng)蝕刻和CVD等反應(yīng)性工藝的帶有差動(dòng)排氣系統(tǒng)的工藝監(jiān)控儀。
ULVAC**的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具有優(yōu)良的抗活性氣體腐蝕性能，長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量。
工藝監(jiān)控儀
的詳細(xì)介紹
ULVAC 工藝監(jiān)控儀 RGM2-302
特點(diǎn)
可以在反應(yīng)過(guò)程中長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量
采用具有磁場(chǎng)的Claude離子源
軟電離可防止在高靈敏度電離室因熱反應(yīng)而產(chǎn)生的分解和吸附，同時(shí)氣體離解較少
緊湊型流量控制閥
處理室到離子源的距離很短，可以快速響應(yīng)分辨率
可以測(cè)量寬范圍的壓力10-6 to 13kPa（口徑可選）
無(wú)需電腦也可以測(cè)量
One Click機(jī)能（對(duì)每個(gè)人來(lái)說(shuō)都很容易，不需要復(fù)雜的操作）
連接傳感器單元時(shí)，*大可以進(jìn)行120℃的高溫烘烤
離子源，二次電子倍增管的預(yù)防性維護(hù)分析管加載了可追溯性（**申請(qǐng)中）
可進(jìn)行氦氣檢漏，漏氣測(cè)試
標(biāo)準(zhǔn)搭載軟件（Windows 8/10/11）
用途
CVD/ALD/蝕刻設(shè)備
監(jiān)測(cè)工藝中的反應(yīng)氣體
蝕刻和清潔工藝的末端監(jiān)測(cè)
殘留氣體測(cè)量
檢漏
規(guī)格