異常放電防止單元
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產(chǎn)品名稱(chēng):
異常放電防止單元
產(chǎn)品型號(hào):
A2KH-25
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 異常放電防止單元 A2KH-25
A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來(lái)防止異常放電的附加單元。
能在原來(lái)的電源上簡(jiǎn)單的追加，低成本實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。
異常放電防止單元
的詳細(xì)介紹
ULVAC 異常放電防止單元 A2KH-25
特點(diǎn)
高產(chǎn)量
通過(guò)減少異常放電可以輸入更高功率
基板損傷減少
能夠減少電弧引起的基板損
控制基板的問(wèn)題
與RF濺射相比，可以降低基板溫度
簡(jiǎn)單的連接性
可以連接到現(xiàn)有設(shè)備
可變的反向脈沖頻率
A2KH-25：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范圍內(nèi)可使用
脈沖同步系統(tǒng)
可以輸出多個(gè)A2K單元的同步脈沖 *2 *3
主從連接可實(shí)現(xiàn)大容量
A2K-20K、40K*多可以6臺(tái)并聯(lián)運(yùn)行
應(yīng)用：脈沖同步系統(tǒng)
a2kdata.jpg
當(dāng)同一個(gè)腔室內(nèi)陰極互相靠近相對(duì)，或者，當(dāng)多個(gè)A2K放電彼此干擾時(shí)。通過(guò)使用相位控制功能，可以使A2K的反向脈沖同相并防止放電干擾。*3 *4
*1：可以與弊社DC電源連接
*2：使用A2KH-25，A2K-20K，40K不能執(zhí)行脈沖同步和并行操作。
*3：A2KH-25需要外部同步單元（PHSM / PHSS）
*4：A2K-20K / 40K需要光同步電纜（Pulse link cable）
用途
FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備
規(guī)格
工作環(huán)境溫度 5℃ 至 40℃（無(wú)冷凝現(xiàn)象）
操作環(huán)境： 避免陽(yáng)光直射、高溫、灰塵、振動(dòng)，無(wú)腐蝕性氣體。
*5： A2K-20K 和 A2K-40K 不能一起使用。