ULVAC RF電源 RMG-1303
特點(diǎn)
*1 可輸出500Hz~100KHz的脈沖RF
*2 可選擇變更額定電壓
可通過低輸出功率進(jìn)行控制
可通過1W的低輸出功率進(jìn)行控制
標(biāo)準(zhǔn)配備脈沖RF輸出功能
標(biāo)準(zhǔn)搭載500Hz~100KHz的脈沖RF輸出功能,可在低功率下進(jìn)行控制
標(biāo)配外部同步端子
標(biāo)準(zhǔn)搭載端子(BNC端子),用于疊加操作的13.56MHz同步信號的輸入和輸出
AC100V至AC220V 的廣泛輸入
單相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的廣泛輸入
體積小、重量輕
200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型輕量電源
支持各種規(guī)格
RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容
用途
濺射設(shè)備
CVD設(shè)備
等離子清洗設(shè)備
等離子刻蝕設(shè)備
等離子去膠設(shè)備
RF離子源
射頻中和器
規(guī)格
電源功能部
額定輸入電壓
AC100V~220V(單相 50~60Hz)
額定輸入容量
700VA
泄漏電流
5mA 以下
輸入接口
IEC60320-C14
振蕩頻率
13.56MHz±0.01% *1
額定行波功率
300W (50Ω負(fù)載時)
額定反射波功率
80W
功率穩(wěn)定性
±1%以內(nèi)或±2W以內(nèi)的較大值(50Ω負(fù)載)
冷卻方式
風(fēng)扇強(qiáng)制空冷
匹配器功能部分
額定功率
300W
額定電流
10Arms
額定電壓
2500Vpp/±2500Vdc(標(biāo)準(zhǔn)) *2
輸出電極
2-M4(標(biāo)準(zhǔn))?N?HN?DIN7/16 *3
匹配精度
VSWR1.2或者3W以下
*3 可選擇更改為連接器輸出類型
尺寸圖
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