金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱(chēng):
金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號(hào):
EGK-3M
產(chǎn)品廠(chǎng)商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 金屬膜用EB槍 EGK-3M
EGK-3M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。
擁有*大輸入功率5kW的4個(gè)切換式坩堝。
坩堝容量為2.9cc*4個(gè)、對(duì)應(yīng)任意多層膜蒸鍍。
金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
ULVAC 金屬膜用EB槍 EGK-3M
特點(diǎn)
采用容量2.9cc的4點(diǎn)切換坩堝可實(shí)現(xiàn)多層成膜。
由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)，二次電子對(duì)成膜體的影響非常小。
即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點(diǎn)蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。
電子束225°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會(huì)從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長(zhǎng)。
發(fā)射器組件易于拆開(kāi)，更換燈絲，絕緣體等非常容易。
規(guī)格