ULVAC EB電源 HPS-1000N-100
特點 不需要冷卻水 強制空冷系統(tǒng),不需要冷卻水 可靠性高 作為設備制造商經驗積累的成果 簡易的操作性 操作面板使用液晶觸摸屏,操作性得到提升。 掃描波形變化 可以在操作屏幕上創(chuàng)建各種光束掃描形式 高速電弧中斷功能 通過高速電弧中斷*大限度地減少成膜率 低水平電弧控制功能(光學應用可選) 控制光學應用中所產生的微小電弧以實現(xiàn)穩(wěn)定的成膜 用途 金屬膜用真空沉積
規(guī)格
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