小型蒸發(fā)設(shè)備
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號:
VPC-061A
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VPC-061A
將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
小型蒸發(fā)設(shè)備
的詳細(xì)介紹
ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VPC-061A
特點(diǎn)
桌面緊湊型,可節(jié)省安裝空間。
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部,有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
停電時會自動開啟泄露閥,以保護(hù)主泵。
規(guī)格
※1:*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
效用
尺寸圖
蒸發(fā)電源 SEREM
真空槽內(nèi)部構(gòu)成
基本構(gòu)成
可選配件
