小型蒸發(fā)設(shè)備
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產(chǎn)品名稱:
小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):
VPC-260F
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VPC-260F
將管架上的主泵，輔助泵，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等等必要的部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
小型蒸發(fā)設(shè)備
的詳細(xì)介紹
ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VPC-260F
特點(diǎn)
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動(dòng)更為容易。
規(guī)格
※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。
效用
尺寸圖
VPC-260F
蒸發(fā)電源 SEREM
真空槽內(nèi)部構(gòu)成
基本構(gòu)成
可選配件
