小型蒸發(fā)設(shè)備
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產(chǎn)品名稱:
小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號:
VPC-1100
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VPC-1100
將架臺上的油擴散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。
小型蒸發(fā)設(shè)備
的詳細(xì)介紹
ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VPC-1100
特點
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點的材料。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的**性。
規(guī)格
※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
※2：準(zhǔn)備了分子泵（TMP）的規(guī)格
效用
※冷卻水配管，請客戶自行準(zhǔn)備。
尺寸圖
VPC-1100
蒸發(fā)電源 SEREM
真空槽內(nèi)部構(gòu)成
基本構(gòu)成
※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。
可選配件
