小型蒸發(fā)設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 小型蒸發(fā)設(shè)備

產(chǎn)品型號: VTS-350M/ERH

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: ULVAC

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

小型蒸發(fā)設(shè)備 的詳細(xì)介紹

ULVAC 小型蒸發(fā)設(shè)備 VTS-350M/ERH

特點
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)（*大4層）。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的**性。
規(guī)格

型式		VTS-350M/ERH
真空性能	極限壓力	4.0×10^-４Pa 2.0×10^-４Pa（液體氮氣使用時）^※１
真空性能	排氣時間	4.0×10^-３Pa/10min 3.0×10^-３Pa/10min（液體氮氣使用時）^※１
真空槽	真空槽	玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ300mm×高300mm)
	饋通圈	12端口(側(cè)面8/底面4)
	基板推薦尺寸?*大尺寸^※２	□50mm ? □140mm（Max）
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	1點式
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM “PSE-150C” 1式 0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng)	主泵	分子泵（345L/sec)
	液體氮氣捕集器	選項
	補助泵	螺桿泵（250L/min）
	油霧捕集器	ー
操作系統(tǒng)	主閥	蝶閥
	補助閥	三通閥
	自動泄露閥	有
	操作	手動
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計	GP-1G
控制系統(tǒng)	電離真空計	GI-M2
設(shè)置	*大尺寸　　本體	730mm（W）×584mm（D）×1161mm（H）
	電源	480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
	質(zhì)量　　　　本體	160kｇ
	電源	40kg

※1：液體氣體捕集器為可選部件。
※2：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。

效用

型式		VTS-350M/ERH
所要時間	本體	100V 單相 50/60Hz 0.9kVA
所要時間	電源	200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子		D種（接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接	本體　1Φ　100V	橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4 圧接端子）4m
組合連接	電源　1Φ　200V	橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子）2m