紅外線燈退火設(shè)備
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱(chēng):
紅外線燈退火設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):
RTA-12000
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 紅外線燈退火設(shè)備 RTA-12000
紅外線燈退火設(shè)備
的詳細(xì)介紹
ULVAC 紅外線燈退火設(shè)備 RTA-12000
特點(diǎn)
可以進(jìn)行高速熱處理
Cold Wall結(jié)構(gòu)不會(huì)造成重金屬污染
可對(duì)應(yīng)C to C機(jī)器人搬送系統(tǒng)
可以與制造工藝設(shè)備組合和連接
用途
LED基板退火
活性化退火
SiC晶圓的退火
動(dòng)力裝置的退火
硅化物形成
可對(duì)應(yīng)氧化環(huán)境
規(guī)格
（從左側(cè)）RTA-4000 CtoC/RTA-2000/RTA-6000
※其他規(guī)格要求，如單晶片加工、閃蒸退火、C to C 型、其他加熱溫度、氣體型、真空度等，請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。
RTA-2000爐腔部件
RTA-12000氣室部件