電弧等離子體蒸發(fā)源

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產(chǎn)品名稱: 電弧等離子體蒸發(fā)源

產(chǎn)品型號(hào): APS-1

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: ULVAC

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

電弧等離子體蒸發(fā)源 的詳細(xì)介紹

ULVAC 電弧等離子體蒸發(fā)源 APS-1

特點(diǎn)
納米顆粒的尺寸比傳統(tǒng)的濕法更均勻，因此能夠生產(chǎn)高活性催化劑
納米顆粒尺寸約1.5nm至6nm可選
通過改變環(huán)境可以容易地產(chǎn)生氧化物和氮化物
如果有與ICF 070（VG 50）相當(dāng)?shù)姆ㄌm，無論那個(gè)方向都可以安裝
無需水冷設(shè)備，方便維護(hù)
用途
多個(gè)蒸發(fā)源化合物的生成
添加到現(xiàn)有的真空室
規(guī)格

目標(biāo)尺寸	Φ 10mm × L 17 mm
基底尺寸	Φ 2 inch (Φ 50 mm)
沉積速率	0.01 nm/s ～ 0.3 nm/s ^*1
薄膜厚度均勻性	Fe:　< ± 10 %　(Φ 20 mm area) ^*1
可用于沉積的材料	導(dǎo)電材料 ^*2

＊1 目標(biāo)到基底的距離： 80 毫米
＊2 靶材的比電阻：0.01Ω 厘米或以下

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