高真空排氣系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱:
高真空排氣系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
DPS-2-ZA
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
PHIL佐藤 高真空排氣系統(tǒng) DPS-2-ZA
高真空排氣系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
PHIL佐藤 高真空排氣系統(tǒng) DPS-2-ZA
特點(diǎn)
適用于高真空條件下的各種實(shí)驗(yàn)、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程。
風(fēng)冷系統(tǒng)無(wú)需水管，減輕了維護(hù)負(fù)擔(dān)。
100 V 電源，可在任何地點(diǎn)使用。
鋁制主框架和底座，重量輕。
設(shè)計(jì)緊湊，使用方便。
渦輪分子泵排氣系統(tǒng) <TPS> 類型
通過(guò)將輔助泵與隔膜式干式真空泵或渦旋式干式真空泵相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全干式抽氣系統(tǒng)。
啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)間短。
渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)具有很強(qiáng)的抗意外引入大氣的能力。
(注：反復(fù)有意引入大氣可能會(huì)導(dǎo)致故障。
機(jī)油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng) <DPS> 型
可以較低成本獲得高真空氣氛。
通過(guò)三通閥切換功能，只需一臺(tái)輔助泵即可獨(dú)立運(yùn)行。
易于維護(hù)和檢查。
<TPS>類型
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型 式
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TPS-50ZA
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TPS-50ZB
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TPS-50ZC
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TPS-220ZA
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TPA-220ZB
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TPS-220ZC
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ターボ分子ポンプ
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50L/s
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220L/s
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補(bǔ)助ポンプ
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DW-60
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USW-50N
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MZ-2CNT
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DW-120
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USW-100N
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ISP-250C
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到達(dá)圧力
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×10-5Pa*1
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×10-3Pa*1
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×10-5Pa*1
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×10-4Pa*1
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起動(dòng)/停止時(shí)間
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3/3min*2
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2.2/3.5min*2
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吸気口徑
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VG-65
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VG-100
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所要電力（AC）
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100V 15A
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質(zhì)量
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約51kg
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約55kg
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約45kg
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約56kg
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約59kg
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約70kg
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外形寸法
(W×D×Hmm)
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600×400×700
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600×400×750
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600×400×700
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600×400×730
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600×400×800
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600×400×850
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<DPS類型
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型 式
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DPS-2-ZA
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DPS-2-ZB
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DPS-3-ZA
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DPS-3-ZB
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DPS-4-ZA
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DPS-4-ZB
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油拡散ポンプ
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58L/s
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150L/s
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215L/s
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補(bǔ)助ポンプ
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DW-60
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USW-50N
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DW-120
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USW-100N
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DW-120
|
USW-150N
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到達(dá)圧力
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×10-4Pa*3
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起動(dòng)時(shí)間
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17min*2
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22min*2
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吸気口徑
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VF-50
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VF-80
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VF-100
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所要電力（AC）
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100V 15A
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100V 15A×2*4
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質(zhì)量
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約57kg
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約60kg
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約68kg
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約70kg
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約70kg
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約80kg
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外形寸法
(W×D×Hmm)
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600×400×935
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600×400×995
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600×400×1095
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600×400×1030
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600×400×1130
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＊ 1: 渦輪分子泵烘烤和脫氣后泵頭上的數(shù)值。
啟動(dòng)時(shí)間是在進(jìn)氣口關(guān)閉的情況下測(cè)量的。 時(shí)間取決于腔室容量。
3 進(jìn)氣口關(guān)閉時(shí)的數(shù)值。
輔助泵和主泵配有獨(dú)立的電源插頭。
還可提供定制版本，其中包含各種可選組件，以滿足客戶的可用性和規(guī)格要求。