兩段式標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器
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產(chǎn)品名稱:
兩段式標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器
產(chǎn)品型號(hào):
L88SS
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
YUTAKA
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
L88SS壓力調(diào)節(jié)器儀表采用兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)，專為B2H6半導(dǎo)體制造氣體而設(shè)計(jì)。 作為抑制B2H6減壓產(chǎn)生的產(chǎn)物的措施，中間壓力為3MPa，調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平面密封式，采用PCTF調(diào)節(jié)閥座抑制缺陷。 它也是絕熱膨脹變化較大的NF3應(yīng)用的理想選擇。
兩段式標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器
的詳細(xì)介紹
YUTAKA-壓力調(diào)節(jié)器-L88SS
平面密封散裝氣體結(jié)構(gòu)，兼容第7類特殊高壓氣體、腐蝕性氣體、有毒氣體以外的氣體。
產(chǎn)品規(guī)格：
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進(jìn)氣壓力
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14.8MPa以下
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調(diào)節(jié)壓力
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Max：0.99MPa（量程規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99）
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原始?jí)毫Σ▌?dòng)
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進(jìn)氣壓力：0.1MPa ，調(diào)節(jié)壓力變化0.00075MPa
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耐壓壓力
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22.2MPa（入口側(cè)）
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CV值
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0.08
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工作溫度
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-10~+40℃
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外部泄漏
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1×10-11Pa?m3/sec?He（真空法）
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內(nèi)部容積
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12.58cm（不包括 3 個(gè)壓力表和配件）
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質(zhì)量
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約2.4kg
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經(jīng)營(yíng)范圍：
MRM、YUTAKA壓力調(diào)節(jié)閥、SHOWA SOKKI昭和測(cè)器、IMAO今尾、SHINNETSU新熱、ATAGO愛(ài)拓等
日本YUTAKA,原裝進(jìn)口，價(jià)格*優(yōu)、質(zhì)量保證！