化學(xué)循環(huán)器
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產(chǎn)品名稱:
化學(xué)循環(huán)器
產(chǎn)品型號(hào):
GRT-612-R-UL
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
KELK
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
KELK化學(xué)循環(huán)器GRT-612-R-UL
化學(xué)循環(huán)器
的詳細(xì)介紹
CHEMICAL CIRCULATOR
半導(dǎo)體制造工藝 化學(xué)循環(huán)器NES-333-7
通過無金屬離子溶出污染的在線型冷卻加熱器，實(shí)現(xiàn)濕法工藝中不可缺少的直接循環(huán)式藥液恒溫裝置
KELK化學(xué)循環(huán)器是用于RCA清洗或濕法蝕刻的藥液的溫度高精度控制，在半導(dǎo)體制造的濕法工藝中不可缺少，為沒有的東西得到了廣泛的愛用。近年來使用藥液的多樣化、高兆
為了滿足比特化帶來的清潔度提高的要求，我們進(jìn)行了進(jìn)一步的更新。
（注）高溫藥液用時(shí)，推薦使用CS加熱器。
特征：
1.冷卻加熱部傳熱接液部件使用高純度的玻璃狀碳，溶出金屬離子
不用擔(dān)心會(huì)造成污染，也不需要表面保護(hù)膜，所以也不會(huì)因剝離而能力下降。
2.由于橡膠O形圈是不直接接觸液體密封結(jié)構(gòu)，所以酸性液、堿性液等各藥液
的貼紙材質(zhì)的選定是不需要的。
3.電子冷熱方式，適用于室溫附近的溫度控制且高精度。
4.本裝置符合國(guó)際保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)IP31。
5.裝置包括檢測(cè)藥液或冷卻水泄漏的漏液傳感器、檢測(cè)異常溫度的溫度
因?yàn)閮?nèi)置了開關(guān)，所以可以放心使用。
■用途
1.用于半導(dǎo)體制造濕法
藥液的溫度管理
●RCA清洗液
●蝕刻液
●光刻工序的顯影液
2.其他領(lǐng)域的各種藥液的溫度管理
●電鍍液、各種表面處理液、其他
（注）不能使用含有臭氧的藥液。
