CS加熱控制器
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產(chǎn)品名稱(chēng):
CS加熱控制器
產(chǎn)品型號(hào):
AIC-8-3
產(chǎn)品廠(chǎng)商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
KELK
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
KELK CS加熱器用控制器AIC-8-3
以干凈、**、小型、高效為理念的直排型藥液加熱裝置
CS加熱器（Clean&Safe Heater）是一種緊湊的直排加熱器，可短時(shí)間內(nèi)**控制溫度，用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的清洗、剝落等各種藥水的高溫加熱。接液部分采用高純度石英玻璃，并采用來(lái)自大功率鹵素?zé)舻慕t外光輻射加熱，是一種無(wú)需擔(dān)心雜質(zhì)污染的高效加熱設(shè)備。
CS加熱控制器
的詳細(xì)介紹
特征：
1.干凈
由于鹵素?zé)舻姆派浼訜岱绞?，接液部溫度低，將玻璃成分的溶出控制?小限度，也不用擔(dān)心因熱西破損引起的藥水污染
2.**
與專(zhuān)用控制器相結(jié)合，具有各種**功能
3.小型
小型設(shè)計(jì)，容易嵌入濕站等裝置內(nèi)
4.高加熱效率
加熱效率90%以上，能源損失少的節(jié)能運(yùn)轉(zhuǎn)
5.加熱器更換容易
加熱器（鹵素?zé)簦┑母鼡Q，在不拆系統(tǒng)的管路情況下容易從一個(gè)方向進(jìn)行
6.良好的控制和操作性
通過(guò)PID控制高精度的溫度控制，各種操作和警報(bào)顯示集中在控制器的前面板上，通過(guò)外部通信功能的標(biāo)準(zhǔn)配備，可以根據(jù)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
擇使用。
用途：
1.LSI制造工藝中高溫處理液的加熱控制
擴(kuò)散前清洗液（氨水、鹽酸）
氮化膜**液（磷酸）
抗蝕劑（硫酸）
2.其他領(lǐng)域中各種藥水的加熱控制
鍍金等鍍液、預(yù)處理液、清洗液等
