特征:
1.干凈
由于鹵素燈的放射加熱方式,接液部溫度低,將玻璃成分的溶出控制在*小限度,也不用擔心因熱西破損引起的藥水污染
2.**
與專用控制器相結合,具有各種**功能
3.小型
小型設計,容易嵌入濕站等裝置內
4.高加熱效率
加熱效率90%以上,能源損失少的節(jié)能運轉
5.加熱器更換容易
加熱器(鹵素燈)的更換,在不拆系統(tǒng)的管路情況下容易從一個方向進行
6.良好的控制和操作性
通過PID控制高精度的溫度控制,各種操作和警報顯示集中在控制器的前面板上,通過外部通信功能的標準配備,可以根據(jù)系統(tǒng)結構
擇使用。
用途:
1.LSI制造工藝中高溫處理液的加熱控制
擴散前清洗液(氨水、鹽酸)
氮化膜**液(磷酸)
抗蝕劑(硫酸)
2.其他領域中各種藥水的加熱控制
鍍金等鍍液、預處理液、清洗液等
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