旋轉(zhuǎn)式干燥機(jī)
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產(chǎn)品名稱(chēng):
旋轉(zhuǎn)式干燥機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
OKV系列
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
OKK大宮工業(yè)
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
OKK大宮工業(yè) 旋轉(zhuǎn)式干燥機(jī) OKV系列
旋轉(zhuǎn)式干燥機(jī)
的詳細(xì)介紹
OKK大宮工業(yè) 旋轉(zhuǎn)式干燥機(jī) OKV系列
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機(jī) 種
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６inch型
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８inch型
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適用晶片尺寸
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2～6inch
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2～8inch
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裝置寸法
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W423×D839×H780 (mm)
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W513×D903×H880 (mm)
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本體外裝
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正面?側(cè)面：SUS304 背面：PVC
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轉(zhuǎn)子材料
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SUS304 電拋光
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電離器
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標(biāo)準(zhǔn)裝備
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空氣過(guò)濾器
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ULPA / HEPA 可選
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轉(zhuǎn)速
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Max回転數(shù)：3,000min-1
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Max回転數(shù)：2,500min-1
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定時(shí)器
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1速～8速 （0～999sec. 可設(shè)置 8 個(gè)步驟）
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**裝置
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帶有前蓋關(guān)閉傳感器 轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)帶有門(mén)鎖裝置
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電源
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三相 AC200V±10％ 50/60Hz（接線端子）
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驅(qū)動(dòng)空氣
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清潔干燥空氣
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圧力：0.5MPa以上
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空気消費(fèi)量：250L/min（ANR)
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排気口
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VP50A 1箇所（從腔室排出）
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（排気量 800L/min～1000L/min）
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排水口
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VP25A 1箇所（從腔室排出）
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