載體清洗機(jī)
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產(chǎn)品名稱(chēng):
載體清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
OKH-MR系列
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
OKK大宮工業(yè)
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
OKK大宮工業(yè) 載體清洗機(jī) OKH-MR系列
載體清洗機(jī)是用于晶片載體和載體盒的清洗和干燥系統(tǒng)。
它們使用高壓水流進(jìn)行清洗，并利用離心力和清潔空氣（或 N?）進(jìn)行干燥。
載體清洗機(jī)
的詳細(xì)介紹
OKK大宮工業(yè) 載體清洗機(jī) OKH-MR系列
特點(diǎn)
清潔效果更佳！
通過(guò)同時(shí)噴射加壓氣體和細(xì)顆粒純水，間歇和連續(xù)地噴射出高射流壓力液滴，清潔效果優(yōu)于高壓噴射。
提高干燥效率！
高速旋轉(zhuǎn)的離心力分散工件表面的水滴，同時(shí)通過(guò)過(guò)濾器的清潔空氣干燥工件。
(也可達(dá)到 N? 規(guī)格）此外，離心力無(wú)法分散的水滴可通過(guò)特殊噴嘴吹出的加壓空氣進(jìn)行后續(xù)處理，以干燥難以干燥的區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)更高的干燥效率。
清潔
考慮到運(yùn)行成本的環(huán)保規(guī)格
霧化顆粒非常細(xì)，純水流量減少到傳統(tǒng)型號(hào)的 1/3。
環(huán)保型設(shè)計(jì)在考慮設(shè)備價(jià)格的同時(shí)也考慮了運(yùn)行成本。
規(guī)格
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支持的工件
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載體 × 2 個(gè)托架 載體BOX × 2托架
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裝置寸法
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6inch載體用 W950×D1340×H1200（H2020 蓋子打開(kāi)時(shí)）(mm)
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材 質(zhì)
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［本體外裝］ＰＶＣ?。裕樱?333（Ivory） ［轉(zhuǎn)子］ＳＵＳ304 電解研磨処理
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轉(zhuǎn)速
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15min / 回 ※根據(jù)載體形狀而變化
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回転數(shù)
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10～600min-1 6速設(shè)定可能
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計(jì)時(shí)器設(shè)置
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0 ～ 999 sec
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設(shè)定
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10種類(lèi)
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實(shí)用程序
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電 源
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AC200V±10% 50/60Hz 30A
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驅(qū)動(dòng)空氣
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圧力：0.5MPa以上 消費(fèi)量：30L/min（ANR)
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干燥空氣
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清潔空氣 圧力：0.3MPa以上 消費(fèi)量：450L/min（ANR)
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純 水
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圧力：0.2Mpa以上 純水消費(fèi)量：12L/min
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排気口
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VP50 1箇所（從腔室排出）?。ㄅ艢萘俊?M3/min）
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排水口
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VP40 1箇所（從腔室排出）
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