半導(dǎo)體壓力調(diào)整器 S-TORRV02 TANAKA日酸
特點(diǎn)
S-TORR 調(diào)壓器是在 TORR 調(diào)壓器的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)的用于超高純度氣體的調(diào)壓器,在半導(dǎo)體工藝氣體管線中備受信賴。
由于取消了氣體接觸區(qū)的螺紋結(jié)構(gòu),并按標(biāo)準(zhǔn)對(duì)調(diào)壓器進(jìn)行了電解拋光,因此實(shí)現(xiàn)了極高的濕氣置換特性和顆粒減少效果。
閥體和聯(lián)軸器之間采用焊接連接,膜片部分的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。
高外部密封性能確保了即使在特別純凈的氣體中也能**使用。
所有設(shè)備都經(jīng)過(guò)出廠檢驗(yàn),包括 He-leak 測(cè)試。
ST V02 系列調(diào)壓器結(jié)構(gòu)非常緊湊,閥體直徑 ?35,標(biāo)準(zhǔn)端面間距為 70.5 mm。
可設(shè)計(jì)小型出口面板。 適合集成到設(shè)備中。
對(duì)于腐蝕性氣體,SH 系列與氣體接觸的主要金屬部件采用高耐腐蝕性的 Ni-Cr-Mo 合金。
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