半導(dǎo)體壓力調(diào)整器
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產(chǎn)品名稱:
半導(dǎo)體壓力調(diào)整器
產(chǎn)品型號:
STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
TANAKA日酸
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
半導(dǎo)體壓力調(diào)整器 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T TANAKA日酸
半導(dǎo)體壓力調(diào)整器
的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體壓力調(diào)整器 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T TANAKA日酸
特點(diǎn)
S-TORR 調(diào)壓器是在 TORR 調(diào)壓器的基礎(chǔ)上開發(fā)的用于超高純度氣體的調(diào)壓器,在半導(dǎo)體工藝氣體管線中備受信賴。
該產(chǎn)品取消了氣體接觸部分的螺紋結(jié)構(gòu),并將電解拋光作為標(biāo)準(zhǔn)配置,從而實(shí)現(xiàn)了極高的水分置換特性和顆粒減少特性。
閥體和聯(lián)軸器之間采用焊接連接,隔膜部分的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。
高外部密封性能確保了即使是高純度氣體也能**使用。
主氣室的流道中裝有過濾器,以減少內(nèi)部泄漏的發(fā)生。
所有設(shè)備均經(jīng)過出廠檢查,包括 He 泄漏測試。
ST V 30 系列作為標(biāo)準(zhǔn)型號被廣泛用于初級低壓應(yīng)用,如低壓管道和出口面板充氣壓力較低的壓縮氣瓶柜。
對于腐蝕性氣體,SH 系列的主要?dú)怏w接觸金屬部件采用高耐腐蝕性的鎳鉻鉬合金。


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