ULVAC 皮拉尼真空計 SP1
特點 傳感器規(guī)格：如果不需要壓力指示器 ?真空計成降低 ?控制板空間節(jié)省 ?配線簡化 測定子更換更容易 燈絲使用耐腐蝕材料鉑 到目前為止使用的測量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用 可以輸出2個設定點 SP1：壓力為0至5 V輸出（非線性輸出） 電源電壓：24 VDC輸入 用途 用于半導體?電子部件等各種制造設備的低真空領域的工藝控制 用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制 用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制 規(guī)格 型號 傳感器單元 型式 SP1 適応測定子 WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 測定精度 ±15 %（51 Pa ～760 Pa） ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） 使用溫度範囲 10～40℃ 采樣時間 50ms 5回の移動平均処理 測定値出力 非線形出力：DC0-5V（Max.10V） (更新時間) 50 ms (分解能) 10 mV 用于設定點 1/2 調節(jié)的輸出 非線形出力：DC 0-5V（Max.10V） 制御出力信號 集電極開路，負邏輯 Error信號 設定點 1/2 LED表示 電源、錯誤、設定點 1/2 電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） 輸入/輸出連接器 D-sub-15P（M2.6 screw） 本體質量 190g（不包括測量元件） 付屬品 輸入/輸出連接器 1 套 快速手冊 1 份 IO、模擬 GND 和電源 GND 未隔離。
測定精度
測定値出力
付屬品
IO、模擬 GND 和電源 GND 未隔離。
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