擺動(dòng)閥雙動(dòng)式VFR 系列
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產(chǎn)品名稱:
擺動(dòng)閥雙動(dòng)式VFR 系列
產(chǎn)品型號(hào):
VFR-400
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
擺動(dòng)閥雙動(dòng)式VFR 系列 VFR-400 ULVAC
是基于ULVAC**的技術(shù)開(kāi)發(fā)的大型擺動(dòng)閥(門(mén)閥)。
可對(duì)應(yīng)顯示器成膜設(shè)備等大型真空設(shè)備。
特點(diǎn)
擺動(dòng)閥雙動(dòng)式VFR 系列
的詳細(xì)介紹
擺動(dòng)閥雙動(dòng)式VFR 系列 VFR-400 ULVAC
特點(diǎn)
ULVAC**的技術(shù)
采用獨(dú)特的密封機(jī)構(gòu)和反向壓力消除機(jī)構(gòu)，不是使用機(jī)械鎖定機(jī)構(gòu)。
極少采用會(huì)導(dǎo)致partical產(chǎn)生的滑動(dòng)部件
在打開(kāi)/關(guān)閉或密封時(shí)幾乎沒(méi)有沖擊（振動(dòng)）
良好的維護(hù)性
無(wú)需從設(shè)備或泵上拆下整個(gè)閥門(mén)即可單獨(dú)拆下閥殼
可以在殼體移除后，僅移除一個(gè)螺栓來(lái)移除整個(gè)閥體單元
可任意選擇安裝方向
VFR系列安裝方向360度自由
用途
大型顯示制造設(shè)備
有機(jī)EL制造設(shè)備
其他真空設(shè)備的主閥?分閥
規(guī)格
尺寸圖