ULVAC 紅外線燈加熱設備 RTP-6
特點
Cold Wall結構不會造成重金屬污染
用途
可以實現(xiàn)Si晶圓的急速熱處理
規(guī)格
型號 | RTP-6 |
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溫度范圍 | 室溫~1000℃ |
樣品尺寸 | 4inch~6inch晶圓尺寸 |
測量環(huán)境 | 氣體中、氣流中、大氣中 |
應用 |
渦輪分子泵/回轉泵排氣組 冷卻水循環(huán)設備 高溫計控制 SiC碳板 |
加熱室
組成
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