PHIL佐藤 研發(fā)用輥涂機 SRC-100V
適用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)的緊湊型高性能輥涂機。 可提供等離子處理、濺射和沉積裝置。
到達圧力 | ×10?5 Pa |
---|---|
真空計 | BA 真空計、電容式壓力計 |
工作尺寸 | W100mm×L200m×t 50~100um |
進料速度 | 0.2~4m/min (CW/CCW 可能) |
真空槽 | SUS304 ?。?00×H850×D450㎜ |
滾動錐 | φ250 水冷式 |
軸向密封 | 使用磁性密封 |
沉積前等離子處理 | 13.56MHz RF電極 ×1式 |
蒸発源 |
(1) 70 x 200 直流磁控管型 x *多 2 套 (ii) 電阻蒸發(fā)源 |
主ポンプ | TMP 1100L/s |
水分排気 | CRYOスーパートラップ |
工藝氣體 | Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用 |
床面積 | 4㎡ |
水電 | ?AC200V 3φ 100A ?冷卻水 |
上海巖瀨國際貿(mào)易有限公司
Tel:021-63333-365
Fax:021-63333-367
Add:上海市松江區(qū)滬亭北路199弄九亭中心5號樓811室
Email:sh@iwase365.com