單成分濃度計
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產(chǎn)品名稱:
單成分濃度計
產(chǎn)品型號:
FUD-1 Model-13（專用）
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
FUJI-US富士工業(yè)
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
FUJI-US富士工業(yè) 粘度測量儀 FUV-1 Model-104
該型號采用緊湊型單元式變送器，適用于半導(dǎo)體制造工藝，同時保留了 FUD-1 Model-13 的優(yōu)點，如易于維護和高精度在線測量。
單成分濃度計
的詳細介紹
單組分密度計的特點
可進行實時濃度測量，易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。
標(biāo)配模擬 4-20 mA DC 和數(shù)字 RS232C。
標(biāo)配測量誤差輸出和報警輸出。
標(biāo)配自診斷功能和錯誤信息顯示。
單元式變送器結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕，可直接安裝在生產(chǎn)線上。
PFA 潤濕部件材料，低輸出設(shè)計，不受化學(xué)品影響。
應(yīng)用
CMP 工藝中的 CMP 漿料或氧化劑濃度控制等。
稀釋過程中各種化學(xué)品（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等）的濃度控制
清洗過程中的清洗液濃度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA 等）
蝕刻過程中的蝕刻液濃度控制等（HF、H2SO4 等）
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形式
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FUD-1 Model-13
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測量參數(shù)
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超音波伝播速度?溫度
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表示
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LCD（濃度、溫度、聲速/各種參數(shù)）
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出力信號
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模擬 4-20 mA DC（可自由設(shè)置濃度值）
數(shù)字 RS232C（濃度、溫度、聲速、錯誤代碼）
報警 上下限 測量誤差
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電源
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AC100V～240V 50/60Hz (DC24Vも使用可能)
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構(gòu)造
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面板安裝型（符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn)）、面板安裝型（可選配防雨外殼）
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環(huán)境溫度
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0～50℃ RH85%以下（結(jié)露ないこと）
0～100℃ 特別仕様 -10～160℃（100℃幅）
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機能
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輸出范圍設(shè)置、報警輸出設(shè)置、濃度顯示移動平均值、濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值消除功能
RS485出力（RS232Cとの同時出力不可）
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選項
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溫度出力（DC4～20mA）
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通道
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*大10ch
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適合発信器
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Model-13：SA-20S26／SA-20S27／SA-20M5
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